薄膜(半导体)材料制备和表征
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原子层沉积系统(ALD)
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纳米团簇沉积系统 Nanocluster
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脉冲等离子体沉积(PPD)
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等离子增强化学气相沉积系统
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低压化学气相沉积(LPCVD)
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电子束蒸发系统
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磁控溅射系统
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(深)反应离子蚀刻系统(RIE)
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超高真空表面分析系统
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快速退火炉
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匀胶机
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霍尔效应测量仪
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探针台
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变温真空探针台
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光掩模缺陷检查台
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光谱型椭偏仪
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膜厚仪
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电化学CV(ECV,C-V Profiler)
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少子寿命测试仪
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光致发光扫描系统 (PL)
表面材料分析
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表面等离子体共振仪(SPR)
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扫描开尔文探针系统
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微米划痕仪、纳米压痕仪
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摩擦磨损仪
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三维非接触光学轮廓仪
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接触角测量仪
胶体及其他分散体系制备和表征
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气溶胶发生器、稀释器
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气溶胶粒径谱仪(Welas)
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尘埃粒子计数器
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烟雾发生器、空气示踪器
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高效过滤器评价系统
其他仪器和设备
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便携式流变仪(型号:RC1)
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宽频阻抗谱仪
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光反应器、太阳模拟器
上海理工大学采购烟雾发生器用于风洞实验
[2009.5.13]
复旦大学采购的HMS-5000变温霍尔效应测试仪通过验收投入使用
[2009.4.2]
华东师范大学的原子层沉积系统(ALD System)到货
[2009.1.16]
华南理工大学采购的真空快速退火炉(RTP System)全票通过技术验收
[2008.12.19]
浙江大学采购美国产的表面等离子体共振仪(SPR)
[2008.8.30]
科睿公司将参加2008年世界生物传感器大会(2008年5月13-16日,上海国际会议…
[2008.4.9]
中国科技大学采购我司代理的匀胶机(Spin Coater)
[2008.3.13]
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