薄膜(半导体)材料制备和表征
 
→ 原子层沉积系统(ALD)
→ 纳米团簇沉积系统 Nanocluster
→ 脉冲等离子体沉积(PPD)
→ 等离子增强化学气相沉积系统
→ 低压化学气相沉积(LPCVD)
→ 电子束蒸发系统
→ 磁控溅射系统
→ (深)反应离子蚀刻系统(RIE)
→ 超高真空表面分析系统
→ 快速退火炉
→ 匀胶机
→ 霍尔效应测量仪
→ 探针台
→ 变温真空探针台
→ 光掩模缺陷检查台
→ 光谱型椭偏仪
→ 膜厚仪
→ 电化学CV(ECV,C-V Profiler)
→ 少子寿命测试仪
→ 光致发光扫描系统 (PL)
表面材料分析
 
→ 表面等离子体共振仪(SPR)
→ 扫描开尔文探针系统
→ 微米划痕仪、纳米压痕仪
→ 摩擦磨损仪
→ 三维非接触光学轮廓仪
→ 接触角测量仪
胶体及其他分散体系制备和表征
 
→ 气溶胶发生器、稀释器
→ 气溶胶粒径谱仪(Welas)
→ 尘埃粒子计数器
→ 烟雾发生器、空气示踪器
→ 高效过滤器评价系统
其他仪器和设备
 
→ 便携式流变仪(型号:RC1)
→ 宽频阻抗谱仪
→ 光反应器、太阳模拟器
 
 
 
上海理工大学采购烟雾发生器用于风洞实验

[2009.5.13]
复旦大学采购的HMS-5000变温霍尔效应测试仪通过验收投入使用

[2009.4.2]
华东师范大学的原子层沉积系统(ALD System)到货

[2009.1.16]
华南理工大学采购的真空快速退火炉(RTP System)全票通过技术验收

[2008.12.19]
浙江大学采购美国产的表面等离子体共振仪(SPR)

[2008.8.30]
科睿公司将参加2008年世界生物传感器大会(2008年5月13-16日,上海国际会议…

[2008.4.9]
中国科技大学采购我司代理的匀胶机(Spin Coater)

[2008.3.13]
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