薄膜(半导体)材料制备和表征
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原子层沉积系统
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等离子增强化学气相沉积系统
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(深)反应离子蚀刻系统(RIE)
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纳米团簇沉积系统
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多功能磁控溅射系统
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脉冲等离子体沉积(PPD)
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匀胶机
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快速退火炉
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霍尔效应测量仪
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探针台
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光致发光扫描系统 (PL)
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椭偏仪
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光干涉薄膜测厚仪
表面材料分析
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扫描开尔文探针系统
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表面等离子体共振仪(SPR)
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三维非接触光学轮廓仪
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摩擦磨损仪
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接触角测量仪
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表面张力仪
胶体及其他分散体系制备和表征
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气溶胶发生器、粒径谱仪
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烟雾发生器、空气示踪器
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Zeta电位及颗粒度分析仪
纳米材料制备和表征
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纳米(微米)压痕/划痕测试仪
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原子力显微镜
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近场扫描光学显微镜
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多探针扫描探针显微镜
其他仪器和设备
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流变仪
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激光测振仪
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高速视频相机
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光反应器、太阳模拟器
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