薄膜(半导体)材料制备和表征
 
→ 电子束蒸发系统 (E-Beam)
→ 磁控溅射系统 (Sputter)
→ 脉冲激光沉积系统(PLD)
→ 等离子增强化学气相沉积系统
→ 低压化学气相沉积(LPCVD)
→ (深)反应离子蚀刻系统(RIE)
→ 脉冲等离子体沉积(PPD)
→ 纳米团簇沉积系统
→ 超高真空表面分析系统
→ 铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳能电池沉积系统
→ 快速退火炉
→ 光刻机/紫外曝光机
→ 匀胶机
→ 霍尔效应测量仪
→ 变温霍尔效应测量仪
→ 光致发光扫描系统 (PL)
→ 电致发光测量系统(EL)
→ 电化学CV(ECV,C-V Profiler)
→ 非接触迁移率/电阻率测量仪
→ 探针台
→ 变温真空探针台
→ 光谱型椭偏仪
→ 膜厚仪
→ 深能级瞬态谱仪(DLTS)
表面材料分析
 
→ 表面等离子体共振仪(SPR)
→ 扫描开尔文探针系统
→ 飞行时间二次离子质谱
→ 接触角测量仪
→ 电镜用高纯单晶阴极灯丝
胶体及其他分散体系制备和表征
 
→ PALAS气溶胶发生器、稀释器
→ PALAS气溶胶粒径谱仪
→ 气溶胶粒径及形状测定仪
→ 生物气溶胶实时监测仪
→ 尘埃粒子计数器
→ 烟雾发生器、空气示踪器
→ 高效过滤器评价系统
其他仪器和设备
 
→ 便携式流变仪(型号:RC1)
→ 锁相放大器
→ 宽频阻抗谱仪
→ 光反应器、太阳模拟器
→ 高温超导磁体
 
 
 
 
 
 
西安交通大学采购的真空快速退火炉完成安装调试 [2010-6-18]
终止与芬兰PICOSUN公司合作 [2010-4-29]
香港科大、湖北工大采购Spin-1200D匀胶机 [2010-4-15]
吉林大学采购的生物气溶胶监测仪完成安装调试及验收 [2009-11-23]
华南理工大学采购我司代理的Spin-1200D匀胶机 [2009-9-2]
上海理工大学采购烟雾发生器用于风洞实验 [2009-5-13]
复旦大学采购的HMS-5000变温霍尔效应测试仪通过验收投入使用 [2009-4-2]
华东师范大学的原子层沉积系统(ALD System)到货 [2009-1-16]
华南理工大学采购的真空快速退火炉(RTP System)全票通过技术验收 [2008-12-19]
浙江大学采购美国产的表面等离子体共振仪(SPR) [2008-8-30]
     
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