薄膜(半导体)材料制备和表征
 
原子层沉积系统
等离子增强化学气相沉积系统
(深)反应离子蚀刻系统(RIE)
纳米团簇沉积系统
多功能磁控溅射系统
脉冲等离子体沉积(PPD)
匀胶机
快速退火炉
霍尔效应测量仪
探针台
光致发光扫描系统 (PL)
椭偏仪
光干涉薄膜测厚仪
表面材料分析
 
扫描开尔文探针系统
表面等离子体共振仪(SPR)
三维非接触光学轮廓仪
摩擦磨损仪
接触角测量仪
表面张力仪
胶体及其他分散体系制备和表征
 
气溶胶发生器、粒径谱仪
烟雾发生器、空气示踪器
Zeta电位及颗粒度分析仪
纳米材料制备和表征
 
纳米(微米)压痕/划痕测试仪
原子力显微镜
近场扫描光学显微镜
多探针扫描探针显微镜
其他仪器和设备
 
流变仪
激光测振仪
高速视频相机
光反应器、太阳模拟器
 
 
 
 
 
 
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