薄膜(半导体)材料制备和表征
 
电子束蒸发系统 (E-Beam)
磁控溅射系统 (Sputter)
脉冲激光沉积系统(PLD)
等离子增强化学气相沉积系统
低压化学气相沉积(LPCVD)
(深)反应离子蚀刻系统(RIE)
脉冲等离子体沉积(PPD)
纳米团簇沉积系统
超高真空表面分析系统
CIGS薄膜太阳能电池沉积系统
原子层沉积系统 (ALD)
快速退火炉 (RTP)
光刻机/紫外曝光机
匀胶机
霍尔效应测量仪
变温霍尔效应测量仪
光致发光扫描系统 (PL)
电化学CV(ECV,C-V Profiler)
非接触迁移率/电阻率测量仪
探针台
低温探针台 (Cryogenic Probe Station)
定制变温真空探针台(90K-570K)
光谱型椭偏仪
膜厚仪
深能级瞬态谱仪(DLTS)
表面材料分析
 
阴极荧光分析系统 CL
扫描开尔文探针系统
表面等离子体共振仪(SPR)
显微操纵器 micromanipulator
等离子清洗机
接触角测量仪
飞行时间二次离子质谱
电镜用高纯单晶阴极灯丝
胶体及其他分散体系制备和表征
 
PALAS气溶胶发生器、稀释器
PALAS气溶胶粒径谱仪
气溶胶粒径及形状测定仪
生物气溶胶实时监测仪
尘埃粒子计数器
烟雾发生器、空气示踪器
高效过滤器评价系统
其他仪器和设备
 
低温恒温器/样品制冷系统/冷头 Cryostat/Cryocooler
太阳电池IV测试仪,太阳模拟器
傅立叶变换核磁共振波谱仪(FT-NMR)
高温超导磁体
宽频阻抗谱仪
锁相放大器
光反应器
便携式流变仪(型号:RC1)
红外热像仪
 
 
 
 
 
凝聚式单分散气溶胶发生器
原产国:德国Palas

凝聚式单分散气溶胶发生器包含三个部分:晶核源,蒸发器,冷凝器.首先通过一般的喷雾发生器产生晶核源,晶核经过装有气溶胶物质(如DEHS,石蜡油)的蒸发器时,周围充满气态气溶胶物质,随后进入冷凝器,在这一过程中,气态气溶胶物质在晶核表面冷凝长大,通过控制冷凝温度及流量,最终输出一定浓度的单分散气溶胶颗粒,颗粒浓度同晶核浓度相关.

技术参数 hspace=0
粒子类型:
液体:DEHS(无毒)、DOP或金刚砂3004
固体:巴西棕榈硬蜡、石蜡或硬脂酸
• 粒径范围:
DEHS、DOP:0.5~8μm
巴西棕榈硬蜡:0.1~4μm
硬脂酸:0.1~9μm
• 生成颗粒物浓度:>1000000/cm3
• 几何标准偏差:
 < 1.10粒子范围(0.5~8μm) 
 < 1.25粒子范围(0.1~0.5μm)
• 流量:3.5~4.5 L/min
• 环境温度:10~35℃
• 对压缩气源要求:CP氮气

主要特点
MAG(Condensation Monodisperse Aerosol Generator)是一种准确、快速、能提供高浓度的单分散性气溶胶的发生器。它可以产生高度均匀分散的固体或液体粒子(可用于荧光或放射性标记),粒数浓度可以超过1000000/cm3,它可以产生球形的几乎电中性的气溶胶粒子,粒径范围为0.5~8μm,颗粒尺寸和浓度可以很容易人为控制。MAG具有紧凑、轻质和易维护等特点,它可以满足任何要求产生高浓度均匀分散气溶胶的应用,这包括:人体和动物暴露研究;滤料效率测试;颗粒物筛分仪器的评价和校准;烟气探测器的性能分析;为风洞产生粒子;为激光多普勒速度计产生粒子。


粉尘气溶胶发生器hspace=0
原产国:德国Palas

将粉末样品装入圆柱型存储器中,通过活塞输送到旋转刷,旋转刷将准确输送一定量的样品到扩散头,在扩散头处通过喷嘴加速,气流将被加速到180m/s的高速度, 高速度气流为粉末的充分分散提供必要的湍流和剪切力,团聚的颗粒最终被分散 输出,输出的气溶胶为多分散分布。

主要特点hspace=0
扩散微量的0.1~100μm粉末,所以对贵重、有毒性的样品的扩散变得非常有效.它可用来:将粉尘引入颗粒度仪;散射出干的聚苯乙烯胶乳球体(PSLs)来标定测量仪器;将应用于环境监测直径滤膜上收集到的颗粒物进行再分散等。

技术参数
粒径范围:0.1~100μm
质量流量范围:40mg/h ---560g/h
体积流量范围:0.3--5 m3/h
电源要求:220V/ 50Hz


高浓度/热式气溶胶稀释器
原产国:德国Palas

粒径范围内具有很低的颗粒物损失率。在高浓度的气溶胶分析时,它能降低颗粒物入口浓度,使颗粒物的入口浓度在仪器操作最敏感、精度最高的范围内。它有两档标准的稀释率,即100:1和10:1,两台稀释器串连使用可达到100000:1的稀释率。 此稀释器非常适合于高浓度气溶胶的稀释,全球已有1000余VKL型稀释器在使用. 热式气溶胶稀释器可用于高温气溶胶的保温稀释,防止气溶胶的凝聚

主要特点hspace=0
稀释比稳定,重现性好
压缩空气消耗量低
结构简单易操作
各种源排放的高温高浓度气溶胶的稀释
测试油雾分离器
测试高温气体过滤器
高湿度环境

技术参数
稀释比:100:1和10:1
最大颗粒损失:7%
气溶胶入口流量:2-5 L/min
气溶胶出口流量:15-35 L/min
适用粒径范围:<20um
压缩空气要求:4-8bar

 

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