薄膜(半导体)材料制备和表征
 
电子束蒸发系统 (E-Beam)
磁控溅射系统 (Sputter)
脉冲激光沉积系统(PLD)
等离子增强化学气相沉积系统
低压化学气相沉积(LPCVD)
(深)反应离子蚀刻系统(RIE)
脉冲等离子体沉积(PPD)
纳米团簇沉积系统
超高真空表面分析系统
CIGS薄膜太阳能电池沉积系统
原子层沉积系统 (ALD)
快速退火炉 (RTP)
光刻机/紫外曝光机
匀胶机
霍尔效应测量仪
变温霍尔效应测量仪
光致发光扫描系统 (PL)
电化学CV(ECV,C-V Profiler)
非接触迁移率/电阻率测量仪
探针台
低温探针台 (Cryogenic Probe Station)
定制变温真空探针台(90K-570K)
光谱型椭偏仪
膜厚仪
深能级瞬态谱仪(DLTS)
表面材料分析
 
阴极荧光分析系统 CL
扫描开尔文探针系统
表面等离子体共振仪(SPR)
显微操纵器 micromanipulator
等离子清洗机
接触角测量仪
飞行时间二次离子质谱
电镜用高纯单晶阴极灯丝
胶体及其他分散体系制备和表征
 
PALAS气溶胶发生器、稀释器
PALAS气溶胶粒径谱仪
气溶胶粒径及形状测定仪
生物气溶胶实时监测仪
尘埃粒子计数器
烟雾发生器、空气示踪器
高效过滤器评价系统
其他仪器和设备
 
低温恒温器/样品制冷系统/冷头 Cryostat/Cryocooler
太阳电池IV测试仪,太阳模拟器
傅立叶变换核磁共振波谱仪(FT-NMR)
高温超导磁体
宽频阻抗谱仪
锁相放大器
光反应器
便携式流变仪(型号:RC1)
红外热像仪
 
 
 
 
 
尘埃粒子计数器       Particle Counter
型号:PZG
原产国:德国
 
技术参数:
粒径通道:( Standard for 28.3 l/min and 100 l/min)
PZG 21 (not 100 LPM): 0.2 / 0.3 / 0.5 / 1.0 / 2.0 / 3.0 / 4.0 / 5.0 μm
PZG 31 and PZG 131: 0.3 / 0.5 / 1.0 / 2.0 / 3.0 / 4.0 / 5.0 / 10.0 μm
PZG 51 and PZG 151: 0.5 / 1.0 / 1.5 / 2.0 / 3.0 / 4.0 / 5.0 / 10.0 μm
 
型号选择:
1.  PZG 21 (0.2 μm up to 5.0 μm; 28.3 LPM)
2.  PZG 31 (0.3 μm up to 10.0 μm; 28.3 LPM)
3.  PZG 51 (0.5 μm up to 10.0 μm; 28.3 LPM)
4.  PZG 131 (0.3 μm up to 10.0 μm; 100 LPM)
5.  PZG 151 (0.5 μm up to 10.0 μm; 100 LPM)
 
采样量: 100 LPM (或者: 28.3 LPM = 1.0 CFM or 2.83 LPM = 0.1 CFM) 
激光源: 激光二极管
0计数 Lebel: < 1 count / 5 minutes (JIS标准) 
计数模式: 浓度, 手动/自动, beep, 累积/差分
 样品输出:内置HEPA标准过滤  (> 99,997 % @ 0.3 μm) 
采样泵: 内置真空泵,流量可控
校准标准: ISO 21501-4 
数据报告: ISO-14644-1, DIN 1946-4, FS-209E, GMP at rest, GMP in operation
触摸屏显示: 8.4’’ (21.5 cm) 彩色触摸屏显示, 800 x 600 SVGA 
通讯接口: 2 x USB, 1 x ETHERNET
数据存储: 大容量内置数据存储器,至少满足10000测量 (包括颗粒和环境数据,日期,时间,测试时间,暂停时间,程序粒径通道,粒径分布,累积颗粒数,体积分布,中位粒径)
环境参数探头: 可同时连接 4探头: 温度,相对湿度,空气流速,气压差hspace=0
内置热敏打印机
230 V 电源
电池: NiHM 可充电
 不绣钢外壳
大小尺寸: 31 x 24 x 19 cm 
重量: 8 kg
 
主要特点:
采样量 28.3 LPM = 1.0 CFM or 100 LPM
灵敏度 0.2 / 0.3 / 0.5 μm
可同时观测8个颗粒粒径
可同时连接4个环境参数探头
符合 JIS 标准
数据报告 ISO-14644-1, DIN 1946-4, FS-209E, GMP at rest, GMP in operation
8,4“ (21.5 cm) 彩色触摸屏显示, 800 x 600 SVGA
不锈钢外壳
数据非常方便下载到电脑中
 超大内置数据存储器,至少 10,000 测试结果
2 USB 接口
1 ETHERNET接口
Grab and analyse the measurements within intranet
NiMH-可充电电池
Internal audible alarm
可存储 1,000个性化用户程序 .
 
仪器介绍:
PZG系列,采样量 100 LPM,可以得到灵敏度  0.3 μm . (或者: 28.3 LPM = 1.0 CFM, 灵敏度可达0.2 μm). 有以下3种型号:
0.2 – 5.0 μm
0.3 – 10.0 μm
0.5 – 10.0 μm
当采样量是100升/分钟,在 1 m³空间只需要10分钟时间测试, 可以节省 70 % 时间.
本产品采用容易读取, 8,4“大彩色触摸屏显示, 800 x 600 SVGA, 便于连接和操作.可以实现存储1000个用户设计程序.同时,也可以8个通道和4个环境传感器中存储大量的粒子计数数据,所有数据均可以通过USB接口下载到电脑中,或者仪器本身的打印机打印出来.
PZG系列小巧方便携带,也易于安装在其它大型的监控设备系统中.
 

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