开尔文探针(Kelvin Probe)是一种非接触无损震荡电容装置，用于测量导体材料的功函数(Work Function)或半导体、绝缘表面的表面势(Surface Potential)。
扫描开尔文探针系统 (ASKP)
ASKP系统是一款可以被大多数客户所接收的高端扫描开尔文探针系统，它是在SKP基础之上包括了彩色相机/TFT显示器、2毫米和50微米探针、外部数字示波镜等配置，其规格如下：
□ 2毫米，50微米探针；
□ 功函数分辨率 1-3 meV(2毫米针尖)，5-10 meV(50微米针尖)；
□ 针尖到样品表面高度可以达到400纳米以内；
□ 表面势和样品形貌3维地图；
□ 探针扫描或样品扫描选配；
□ 彩色相机、调焦镜头、TFT显示器和专业的光学固定装置；
□ 参考样品(带相应的扫描开尔文探针系统的形貌)；
□ 备用的针尖放大器；
□ 24个月超长质保期；
仪器的特色
□ 全球第一台商用的完全意义上的开尔文探针系统；
□ 最高分辨率的功函数和表面势，最好的稳定性和数据重现性；
□ 非零专利技术(Off-null,ON) ——ON信号探测系统在高信号水平下工作，与基于零信号原理(null-based,LIA)的系统相比，不会收到噪声的影响拥有高灵敏度；
□ 高度调节专利技术 ——我们的仪器在测量和扫描时可以控制针尖的高度。因为功函数受 样品形貌的影响，针尖与样品表面距离的调节意味着数据的高重现性且不会漂移；
□ 该领域内，拥有最好的信噪比；
□ 快速响应时间 ——测量速度在0.1-10秒间，远快于其他公司产品；
□ 功能强的驱动器 ——选用Voice-coil(VC)驱动器，与通常的压电驱动器相比，VC驱动器频率要稳定得多、控制的针尖振幅大得多、支持平行多探针操作、支持不同直径探针操作；
□ 所有开尔文探针参数的全数字控制；
|
ON |
非零探测 Off Null detection |
| HR |
高度调节模式 Height Regulation mode |
| SM |
实际开尔文探针信号监控 Monitoring of the actual Kelvin probe signal |
| UC |
用户通道，同时测量外部参数 User Channels, simultaneous measurement of external parameters |
| DC |
电流探测系统去除漂移效应 Current Detection system rejects stray capacity effects |
| PP |
平行板震动模式 Ideal, Parallel Plate Oscillation Mode |
| SA |
信号平均 Signal Averaging (often termed Box-Car Detection) |
| WA |
功函数平均 Work Function Averaging, Difference and Absolute reporting |
| DC |
所有探针及探测参数的数字控制 Digital Control of all Probe and Detection Parameters |
| QT |
针尖快速改变 Quick-change Tip, variable spatial resolution |
| DE |
数据输出 Data Export to Excel, Origin, or 3rd party software |
| OC |
输出通道 Output Channel: TTL switching of external circuit |
| FC |
法拉第笼(电磁干扰防护罩) Faraday Cage (EMI Shield) |
| RS |
金-铝参考样品 Gold-Aluminium Reference Sample |
| 额外选配项 |
| SPV |
表面光伏电压软硬件包 Surface Photovoltage Software and Hardware Package |
| RH |
相对湿度腔 Relative Humidity Chamber |
| AC |
控制气体进口的环境单元 Ambient Cell for controlled Gas Inlet |
| EDS |
外部数据示波镜 External Digital Oscilloscope |
| OPT |
彩色相机 Color Camera, TFT Screen and Optical Mounts |
| ST |
针尖置换 Replacement Tips |
| GCT |
镀金的针尖替换 Gold Coated Replacement Tips |
| XYZ |
25.4毫米手动3维控制台 3-axis 25.4 mm Manual Stage |
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